Il est utilisé dans le traitement des cristaux d'arséniure de gallium (employés dans les téléphones mobiles, les lasers, etc.), comme agent de dopage dans les plaquettes de silicium et pour la fabrication de l'arsine gazeux (H3As), qui sert à produire les matériaux des superréseaux et les circuits intégrés hautes performances.

它被用于加工砷化镓体（在移动电话、激光器用），为的一种掺杂剂和制造可用于制造超格物质和高性能集成电路的砷气体（H3As）。